[实用新型]抗振动态干涉测量仪

摘要

本实用新型涉及一种抗振动态干涉测量仪，其由干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统构成，对被检测物体进行光学干涉测量。其干涉光学系统包括光路及移相装置；滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路。本实用新型提供的测量仪可在恶劣环境下进行在线测量，只需一幅干涉图就能得出测量结果，不降低CCD的分辨率，对测量环境没有特别要求，具有抗干扰能力强、测量精度高、性噪比高、分辨率高、测量时间短等特点。

主权项

一种抗振动态干涉测量仪，其包括干涉光学系统、光电探测器与滤波鉴相系统；所述干涉光学系统包括光路及移相装置；滤波鉴相系统包括同步移相控制电路与信号处理电路；其特征在于：其中所述光学系统包括光源(1)、分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、被测物体(6)、光阑(7)、透镜(8)，所述光源(1)、分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、被测物体(6)、光阑(7)、透镜(8)和光电探测器(9)依次置于光路中，在参考镜(4)背面固定移相装置(5)所述光源(1)发出的光依次经过分束器(2)、准直扩束镜(3)、参考镜(4)、移相装置(5)后投射到被测物体(6)表面上后，其反射光透过参考镜(4)与参考镜前表面的反射光相遇发生干涉，干涉信号经准直扩束镜(3)、分束器(2)、参考镜(4)、透镜(8)投射到光电探测器(9)的光敏面上将其转换成电信号；所述光电探测器(9)连接信号处理电路，将电信号输入信号处理电路滤除其正弦调制信号，获得被测量物体的表面形貌；所述同步移相控制电路由信号源(1001)、分频器(1002)、脉冲发生器(1005)、正弦信号源(1003)、合成器(1004)、直流源(1006)、电压放大器(11)构成；信号源(1001)连接分频器(1002)，经N分频后输出二路，一路连接脉冲发生器(1005)，形成窄脉冲，再与光电探测器(9)相连，控制光电探测器的曝光时间；另一路连接正弦信号源(1003)，控制正弦信号源产生的正弦信号，正弦信号源(1003)与直流源(1006)连接合成器，使正弦信号与直流源的直流在合成器(1004)中合成后，再连接电压放大器(11)，电压放大器(11)最后连接移相装置(5)，放大驱动移相装置作移相操作，达到正弦移相目的；所述信号处理电路完成放大、乘法、滤波运算。