[实用新型]旋转双光楔激光微孔加工装置无效
| 申请号： | 200920209948.2 | 申请日： | 2009-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN201632766U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 潘涌;姜兆华;张伟;王又良;张同兴;王健超;沈冠群 | 申请（专利权）人： | 上海市激光技术研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转双光楔激光微孔加工装置，其特点它包括：由激光器、扩束镜及激光传输系统组成的超短脉冲的激光输出系统；由两个光楔、双光楔支承旋转机构及控制系统组成的双光楔光束偏转系统；由一个激光聚焦镜组及调焦机构组成的激光聚焦系统；由加工件安装机构及二维位移平台组成的加工件吸附定位位移系统和计算机系统。本实用新型选择高质量光束的DPSS激光器，用达到或接近衍射极限的激光聚焦系统，获得精细的聚焦光束，利用双光楔高速旋转加工微孔，因此本实用新型的优点是降低孔径边缘的热影响区，提高了孔型精度和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 双光楔 激光 微孔 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转双光楔激光微孔加工装置，其特征在于，它包括：由激光器、扩束镜及激光传输系统组成的超短脉冲的激光输出系统，由两个光楔、双光楔支承旋转机构及控制系统组成的双光楔光束偏转系统，由一个激光聚焦镜组及调焦机构组成的激光聚焦系统，由加工件安装机构及二维位移平台组成的加工件吸附定位位移系统和计算机系统；由激光器(1)发出的激光束即入射光经由扩束镜(2)和由光路传导和反射镜(3)组成的激光传输系统的传输至双光楔光束偏转系统的双光楔支承旋转机构(4)处，经双光楔支承旋转机构(4)中的相互平行放置并与入射光轴垂直的两个相同的第一光楔(13)和第二光楔(19)偏折后，由激光聚焦镜组(20)会聚获得聚焦光束于二维位移平台(6)上的加工件(5)上。
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