[实用新型]适用于清洗上电极的工具无效
| 申请号： | 200920210631.0 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN201728588U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈宁;刘贤 | 申请（专利权）人： | 上海宏科半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B55/00;H01L21/70 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于清洗上电极的工具，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。本实用新型适用于清洗上电极的工具保证了上电极的清洗效果，在最大限度内避免了密封面漏率升高的前提下，以比较温和的方式对上电极进行清洗处理。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 清洗 电极 工具 | ||
【主权项】：
一种适用于清洗上电极的工具，其特征在于，其包括一个阳极化铝密封面抛光夹具、一个铝密封面抛光夹具、一个支撑上电极用的支撑架子和一个孔洞冲压装置，阳极化铝密封面抛光夹具、铝密封面抛光夹具、支撑上电极用的支撑架子和孔洞冲压装置配套使用。
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