[实用新型]沉积高温氧化物的低压化学沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，包括：具有外管和内管的炉管；炉管基座；可载有晶圆的晶舟；自外管封闭端覆盖于外管的外侧、且与炉管基座之间保持预定间隔、并可对内管内部加热的加热器；可穿过炉管基座向内管内部通入N2O的第一气体注入管；可穿过炉管基座向内管内部通入二氯硅烷DCS的第二气体注入管；第一气体注入管穿过炉管基座深入内管内部、并在靠近外管封闭端的预定位置反向折弯至加热器与炉管基座之间的预定间隔处，以使N2O经加热器预热后再通入至内管内部。本实用新型在成本低的基础上提高在晶圆上沉积的高温氧化物的厚度均匀性。

主权项

一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，包括：炉管，其具有一端开口、另一端封闭的外管，该外管内还置有一两端开口的内管；可与外管开口端接触、并与所述外管构成密闭空间的炉管基座；自外管封闭端覆盖于外管的外侧、且与炉管基座之间保持预定间隔、并可对内管内部加热的加热器；可载有晶圆的晶舟，其装设于所述炉管基座、并收容于内管内部；可穿过炉管基座向内管内部通入氧化亚氮N2O的第一气体注入管；可穿过炉管基座向内管内部通入二氯硅烷DCS的第二气体注入管；其特征在于，第一气体注入管穿过炉管基座深入内管内部、并在靠近外管封闭端的预定位置反向折弯至加热器与炉管基座之间的预定间隔处，以使N2O经加热器预热后再通入至内管内部。