[实用新型]用于化学气相沉积的等离子炬无效
| 申请号： | 200920217261.3 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN201515548U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李国华;王志娜;姜龙;郭辉;孙振路;何奇宇;张永贵;高亮 | 申请（专利权）人： | 河北普莱斯曼金刚石科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 050081 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于化学气相沉积的等离子炬，涉及用于化学气相沉积的电弧等离子炬技术领域。包括处于中心轴上的中心阴极、与该中心阴极同轴的一个管状阳极，该中心阴极和管状阳极分别连接直流电源的负极和正极，该中心阴极和管状阳极之间至少设有一个管状辅助电极，各极间由绝缘材料隔离，至少三个极间设有进气结构，其中至少有一个进气结构中具有能使气体进入炬腔体后形成旋转气流的结构。本实用新型结构简单，能在保持较高功率的同时，产生一个较大面积、可以长时间连续、稳定工作的等离子体环境，提高产品的质量和产量。应用广泛，特别适用于制造人造金刚石。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 等离子 | ||
【主权项】：
一种用于化学气相沉积的等离子炬，包括处于中心轴上的中心阴极(1)、与该中心阴极(1)同轴的一个管状阳极(5)，该中心阴极(1)和管状阳极(5)分别连接直流电源的负极和正极，其特征在于在该中心阴极(1)和管状阳极(5)之间至少设有一个管状辅助电极(2、3、4)，各极间由绝缘材料隔离，至少3个极间设有进气结构，其中至少有一个进气结构中具有能使气体进入炬腔体后形成旋转气流的结构。
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