[实用新型]PECVD用硅片载片器的转换装置

摘要

本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的转换装置，其包括正方形的框体，框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，框体内设置有正方形内孔，内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本实用新型安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。

主权项

一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体(3)，其特征是：所述框体(3)的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体(3)内设置有方形内孔(4)，所述方形内孔(4)的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。