[实用新型]一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置无效
申请号: | 200920241984.7 | 申请日: | 2009-12-31 |
公开(公告)号: | CN201593064U | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 段兴凯;江跃珍;胡孔刚;曾志巍;吴绍荣;林浩 | 申请(专利权)人: | 九江学院 |
主分类号: | C23C24/08 | 分类号: | C23C24/08 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 332005 江西省九江市前*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种薄膜材料制备技术领域,尤其是一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的时间继电器式自动送粉装置,电气控制部分由电源,开关,可变电阻,触头,弹片,衔铁,电磁铁和时间继电器组成,送粉控制部分由控制杆,挡板,储粉罐和粉末组成,储粉罐底部开有孔径,在储粉罐中放置控制杆,使粉末一点一点地依次送到高温的蒸发源中;通过时间继电器实现送粉时间间隔的可控选择。本实用新型具有结构简单、成本较低、送粉量均匀、送粉时间间隔可调,扩大了送粉装置的使用范围,有利于提高瞬间蒸发法沉积薄膜的质量的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 瞬间 蒸发 法制 薄膜 材料 装置 | ||
【主权项】:
一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置,包括电气控制部分和送粉控制部分,其特征在于,电气控制部分由电源(1),开关(2),可变电阻(3),触头(4),弹片(5),衔铁(6),电磁铁(11)和时间继电器(12)组成,送粉控制部分由控制杆(7),挡板(8),储粉罐(9)和粉末(10)组成,其中触头(4)与电磁铁(11)之间设有弹片(5)和衔铁(6),储粉罐(9)与衔铁(6)焊接固定,储粉罐(9)的底部开有出粉孔的孔径,储粉罐(9)中放置有控制杆(7)。
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