[实用新型]30对棒多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 200920242485.X | 申请日： | 2009-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN201512417U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610015 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型由30对棒多晶硅还原炉由底盘和炉体构成，在结构设计时采用了在炉子底盘上采用30对大对数电极、并在底盘上均匀设置多个进气喷嘴，炉体高度大于3.0米，使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分，多晶硅棒数量更多、直径更大，硅棒高度达到2500mm，生长直径达到150mm，同时还采取了对应增加炉体高度等措施，从而显著提高了反应效率和单炉产量，使单炉产量提高到5-6吨。 | ||
| 搜索关键词： | 30 多晶 还原 | ||
【主权项】：
30对棒多晶硅还原炉，由底盘和炉体构成，在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出水口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，其特征在于在炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，分上、中、下三层120°均布。
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