[实用新型]导流型热蒸发沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种导流型热蒸发沉积装置，本实用新型的装置含有加热炉、导流管、导流管加热罩。加热炉由加热丝架、内保温筒和外保温筒组成，蒸发舟置于加热丝架内。在加热炉中的加热丝支撑座下方连接有中心轴，加热炉通过中心轴与底座法兰固定连接。导流管与蒸发舟的蒸发口密封连接，导流管置于导流管加热罩内。当蒸发舟内的材料受热蒸发的时候，由于内外压差的作用，蒸气会沿导流管向外流动，由于导流管的导向作用，可实现蒸气由上至下喷出。本实用新型的装置也可以通过两个或两个以上的组合配置实现两种或两种以上材料的化学气相沉积。解决了需要在下方固定样品的热蒸发气相沉积问题。本实用新型的装置中蒸汽流更集中，可以获得更高的沉积速率。

主权项

一种导流型热蒸发沉积装置，其特征在于：所述的装置包括加热炉、导流管以及导流管加热罩；所述的加热炉以中心轴为中心，通过由内向外依次设置的加热丝架、内保温筒和外保温筒构成；采用上下相对应设置的第一圆形瓷环和第二圆形瓷环作骨架，在第一圆形瓷环和第二圆形瓷环圆周上相对应设有均匀分布的数个小孔，通过加热丝上下对穿连接成一个圆筒形的加热丝架；在加热丝架内设置有蒸发舟；在所述的两个圆形瓷环和加热丝架的外围设置有内保温筒；在所述的第二圆形瓷环下方设置同轴心的加热丝架支撑座，加热丝架通过均匀分布的三根对穿第一圆形瓷环和第二圆形瓷环的长固定螺杆固定在加热丝架支撑座上，长固定螺杆的两端均设有外螺纹，长固定螺杆的一端与加热丝支撑架连接，另一端与导流管底座基座连接；长固定螺杆在穿过所述的两个圆形瓷环的部位均通过螺母固定两个圆形瓷环之间的相对距离；在加热丝架支撑座上设置有固定温度探头的中心固定孔，温度探头通过中心固定孔设置于蒸发舟底部，并与蒸发舟接触；在加热丝架支撑座与长固定螺杆的外围设置有外保温筒；在加热丝架支撑座下方连接有中心轴，中心轴的一端穿过加热炉与加热丝架支撑座固定连接，另一端与底座法兰连接，将加热炉固定设置在底座法兰上；底座法兰上开有两孔引出两根金属管作为进水管和出水管，进水管和出水管的一端与底座法兰密封连接，另一端分别与外保温筒相连接；所述的中心轴、第一圆形瓷环、第二圆形瓷环、加热丝架支撑座、蒸发舟均为同轴心设置。所述的导流管包括导流管底座、导流管管道和导流管喷头帽，导流管外围设有导流管加热罩；导流管底座基座与加热炉蒸发舟的蒸发口密封固定连接，导流管底座基座上设置有通孔，导流管底座基座通过通孔与内螺纹柱子一端固定连接，内螺纹柱子另一端与加热炉内的长固定螺杆连接；导流管管道一端与导流管底座接头固定连接，导流管管道的另一端设有外螺纹接头，喷头帽设置在外螺纹接头上；导流管加热罩壳体上设有环绕的加热丝，还设有用于加热丝的固定和与壳体绝缘的开槽盘头螺钉、螺母和绝缘柱，导流管加热罩的底板开有孔用以伸出喷头帽，喷头帽开有出孔。