[实用新型]铝合金表面氧化处理装置

摘要

本实用新型公开了一种铝合金表面氧化处理装置，包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统、冷却系统，真空炉内安装有工件平台和空心阴极辅助装置；工件平台包括支座、载物台、绝缘体，载物台与阳极电源连接；空心阴极辅助装置由两个同轴、直径不同且带有孔洞的大圆筒和小圆筒组成，分别与阴极电源连接。调节大圆筒与小圆筒之间的间距，使双层圆筒保持空心阴极放电。当真空炉内产生辉光放电后，电子在两圆筒阴极之间震荡并交替从两阴极鞘层获得能量，产生弧光放电即空心阴极放电产生高浓度、高活性的渗扩物质，通过小圆筒上分布的孔洞，在工件表面快速饱和并反应扩散，使工件得到高品质的强化层。

主权项

一种铝合金表面氧化处理装置包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统、冷却系统，所述的进气系统包括气瓶、稳压阀和进气口(10)，进气口(10)安装在真空炉顶部，通过稳压阀与气瓶相连；所述的供电系统采用脉冲直流高压电源或直流溅射高压电源；所述的测温系统为常用KS型-热电偶(17)；所述的抽真空系统包括真空泵(7)及其管路，所述的真空泵(7)通过管路与真空炉相连；其特征在于：所述的真空炉为离子扩渗设备，包括冷却观察室窗(11)、炉壁(13)、底座(14)和炉门，所述的炉壁(13)与阳极电源(9)相连；所述的真空炉内安装有工件平台和空心阴极辅助装置；所述的工件平台包括支座(16)、载物台(3)、绝缘体(5)，所述的绝缘体(5)由中心平台和绝缘环组成、位于支座(16)上，所述的支座(16)位于真空炉底座(14)上，所述的载物台(3)位于绝缘体(5)的中心平台上，用于放置工件(6)，所述的载物台(3)与阳极电源(9)连接；所述的空心阴极辅助装置由两个直径不同且带有孔洞的大圆筒(1)和小圆筒(2)组成，所述的大圆筒(1)和小圆筒(2)构成同轴双层圆筒，位于绝缘体(5)的绝缘环上，并通过绝缘环隔离，所述的小圆筒(2)和大圆筒(1)分别与阴极电源(4)连接。