[实用新型]一种内置郎缪尔探针H2O2气体低温等离子体灭菌装置

摘要

一种内置郎缪尔探针H2O2气体低温等离子体灭菌装置，包括有金属密闭容器，所述金属密闭容器内设有天线，天线连接有直流电源和射频电源，所述金属密闭容器连接真空系统、过氧化氢注入装置等，所述密闭容器内设一根郎缪尔探针，所述郎缪尔探针的信号输出端连接一个分析、计算出等离子体的物理特征量的控制系统，所述控制系统控制所述直流电源和射频电源。本实用新型利用郎缪尔探针对等离子体(Plasma)灭菌关键因子实时监测，从而保证等离子体(Plasma)和H2O2气体两个协同灭菌关键因子同时实时监测，避免了灭菌的失败。

主权项

一种内置郎缪尔探针H2O2气体低温等离子体灭菌装置，包括有金属密闭容器，其特征在于，所述金属密闭容器内设有天线，天线连接有直流电源和射频电源，所述金属密闭容器连接一个真空泵、一个真空计、一个过滤充气器，所述密闭容器内设一根郎缪尔探针，所述郎缪尔探针的信号输出端连接一个分析、计算出等离子体的物理特征量的控制系统，所述控制系统控制所述直流电源和射频电源。