[实用新型]铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置有效
申请号: | 200920252219.5 | 申请日: | 2009-12-29 |
公开(公告)号: | CN201655826U | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 李巍;刘兴江;方小红;李微 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人: | 王来佳 |
地址: | 300381 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,由两端带有放卷架和收卷架的传送带、位于传送带上方的镀液喷淋装置、清洗装置及干燥箱构成;镀液喷淋装置由相互垂直并内路相通的镀液出泵管道和导液管构成,镀液出泵管道通过增压计量泵连接镀液进泵管道,导液管上固装有镀液喷嘴;清洗装置由带有清洗喷嘴的去离子水出泵管道,通过水泵与去离子水进泵管道连接为一体。本实用新型采用喷淋法制备铜铟镓硒太阳电池缓冲层,利用动态结晶原理,采用喷嘴对传送带上的衬底进行立体状态喷淋镀液,极大提高了生产效率;采用增压计量泵,镀液喷淋量得以控制,使喷淋后得到的II-VI族化合物薄膜厚度、均匀度、致密度得到保障,并且成本低,重复性好。 | ||
搜索关键词: | 铜铟镓硒 太阳电池 缓冲 制备 装置 | ||
【主权项】:
一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:该装置由两端带有放卷架和收卷架的传送带、位于传送带上方的镀液喷淋装置、清洗装置及干燥箱构成;镀液喷淋装置由相互垂直并内路相通的两根以上镀液出泵管道和导液管构成,镀液出泵管道通过增压计量泵连接镀液进泵管道,导液管上固装有镀液喷嘴;清洗装置由带有清洗喷嘴的去离子水出泵管道,通过水泵与去离子水进泵管道连接为一体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的