[实用新型]抛光台装置无效
| 申请号： | 200920254928.7 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201573110U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈波;柳滨;王伟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/302 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 河北省三河市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光台装置，特别是一种用于半导体晶圆的化学机械抛光设备上的抛光台装置，它包括大理石抛光台、散热盘、主传动轴以及由三者构成的冷却液循环系统，所述的散热盘的下端面与机体间设有一推力轴承，推力轴承的上轴承座与散热盘共为一体，推力轴承的下轴承座与机体固定。本实用新型所要解决的技术问题是提供一种易制造、承载能力强的抛光台装置。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光台装置，它包括大理石抛光台、散热盘、主传动轴以及由三者构成的冷却液循环系统，其特征是所述的散热盘(2)的下端面与机体(6)间设有一推力轴承(7)，推力轴承(7)的上轴承座与散热盘(2)共为一体，推力轴承(7)的下轴承座(8)与机体(6)固定。
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