[实用新型]基板载具无效
| 申请号： | 200920269840.2 | 申请日： | 2009-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN201567369U | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 黄泳钊;郑博仁;曾政富;陈俊佑 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李树明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板载具，包含一个框设在一基板的一周缘的框架、一个设在该框架的一内缘处的夹扣单元，及一个设在该框架的内缘的底侧处的支撑座。该夹扣单元具有一个设在该框架的一内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、一个突设在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片，及一个卷绕在该轴杆上的复位弹性件。主要是，施压于该翘摆座便能使该弹压片松离该基板，松放该翘摆座则使该弹压片自动夹压住该基板，用以能提升基板的装/卸载效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 | ||
【主权项】：
一种基板载具，用以承载一基板，并包含一个框设在该基板的一周缘的框架、一个设置在该框架的一内缘处的夹扣单元，以及一个设置在该框架的内缘的底侧处的支撑座；其特征在于：该夹扣单元具有一个固设在该框架的内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、一个突伸设置在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片，以及一个卷绕在该轴杆上且能驱使该翘摆座的相反另一端部远离该框架的复位弹性件。
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