[实用新型]多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置

摘要

本实用新型公开了一种可缩短还原炉启、停炉用时的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置。该装置包括抽真空装置，抽真空装置通过连接管道与还原炉的尾气出口连接，还原炉的尾气出口与所述连接管道之间设置有排气阀，所述抽真空装置的极限真空度≤0.06MPa。本实用新型以抽真空的方式代替氮气置换的方式对处于启、停炉阶段的还原炉进行处理，将炉内的氧含量、水含量控制到安全生产的许可范围，既缩短了处理时间，提高了工作效率，同时也提高了安全性。

主权项

多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，包括抽真空装置(1)，其特征是：抽真空装置(1)通过连接管道(5)与还原炉(4)的尾气出口连接，还原炉(4)的尾气出口与所述连接管道(5)之间设置有排气阀(3)，所述抽真空装置(1)的极限真空度≥0.06MPa。