[实用新型]一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器有效
| 申请号： | 200920277824.8 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201605348U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 韩海建;梁书正;赵洋;谷宇恒;闫志瑞 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，它包括：籽晶夹持器主体(1)和与籽晶夹持器主体(1)相配合的紧固套(2)，所述的籽晶夹持器主体包括上部圆锥体(1b)，下部基座(1C)为圆柱体，该圆柱体外部开有螺纹，紧固套内部开有与夹持器下部基座(1c)外部螺纹相匹配的螺纹。本实用新型的优点是利用紧固套使夹持部分安放籽晶的空腔收缩夹紧籽晶，籽晶在生产过程中不会发生晃动；通过相对旋转紧固套和夹具主体可以方便的拿出或放入籽晶。籽晶的加工只需要尺寸满足放入夹持部分内部空腔的需要即可，对籽晶的形状没有严格要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区熔法 生长 单晶硅 籽晶 夹持 | ||
【主权项】：
一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，其特征在于它包括：籽晶夹持器主体(1)和与籽晶夹持器主体(1)相配合的紧固套(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司，未经北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920277824.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
