[实用新型]一种mems传声器无效
| 申请号： | 200920280440.1 | 申请日： | 2009-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN201577175U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 滕大成;刘加校 | 申请（专利权）人： | 潍坊新港电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/04 | 分类号： | H04R1/04 |
| 代理公司： | 潍坊鸢都专利事务所 37215 | 代理人： | 杜希现 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种mems传声器，包括基板，基板上粘贴有MEMS传感器和处理芯片，基板上安装有罩住MEMS传感器和处理芯片的外壳，外壳上设有音孔，MEMS传感器与处理芯片构成电连接，与MEMS传感器相邻的基板侧面粘贴有层状腔体片，MEMS传感器粘贴在腔体片上，腔体片的温度系数与MEMS传感器的温度系数相同或接近。处理芯片也粘贴在腔体片上。采用这种结构的mems传声器，结构合理，热稳定性强，适于在各种声电转换场合使用，尤其适合在温度变化较大的声电转换场合使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传声器 | ||
【主权项】：
一种mems传声器，包括基板(1)，基板(1)上粘贴有MEMS传感器(2)和处理芯片(3)，基板(1)上安装有罩住MEMS传感器(2)和处理芯片(3)的外壳(4)，外壳(4)上设有音孔(5)，MEMS传感器(2)与处理芯片(3)构成电连接，其特征是：与MEMS传感器(2)相邻的基板(1)侧面粘贴有层状腔体片(6)，MEMS传感器(2)粘贴在腔体片(6)上，腔体片(6)的温度系数与MEMS传感器(2)的温度系数相同或接近。
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