[实用新型]一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉有效
| 申请号： | 200920282780.8 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201665536U | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 陈涵斌;钟真武;陈其国 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，它包括钟罩式炉筒、底盘、原料气进口及管道、尾气出口及管道、硅芯底座及硅芯；炉筒固定在底盘上并密封，底盘上连接原料气进口及管道和尾气出口及管道并设有硅芯底座，硅芯固定在硅芯底座上，底座以正多边形规律排布，每个独立的正多边形内均设有原料气进气口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 西门子 工艺 生产 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉，它包括钟罩式炉筒(1)、底盘(2)、原料气进口(7)及其管道(3)、尾气出口(8)及其管道(4)、硅芯底座(5)及硅芯(6)；炉筒(1)固定在底盘(2)上并密封，底盘(2)上连接原料气进口(7)及其管道(3)和尾气出口(8)及其管道(4)并设有硅芯底座(5)，硅芯(6)固定在硅芯底座(5)上，其特征在于底座(5)以正多边形规律排布，每个独立的正多边形内均设有原料气进气口(7)。
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