[实用新型]一种全自动硅片上下料机

摘要

本实用新型公开了一种全自动硅片上下料机，其解决现有技术中的生产效率低、通用性和协调性差、自动流程化不明显的技术问题。全自动硅片上下料机包括控制单元、上下料单元、片盒升降单元、取片传输单元和真空吸附取片单元。本实用新型提供了提供一种高效率、高洁净度、极低碎片率、低运行成本的全自动硅片上下料机。

主权项

一种全自动硅片上下料机，其特征在于：所述的全自动硅片上下料机包括一控制单元、一上下料单元、一片盒升降单元、一取片传输单元和一真空吸附取片单元；其中上下料单元包括一上层传输线和一下层传输线，上层传输线具有传输带和传输马达，上层传输线为空片盒放入和取出通过传输带将片盒送入或者送出片盒升降单元；下层传输线具有传输带和传输马达，下层传输线通过传输带为装满硅片的片盒送入或者送出片盒升降单元；片盒升降单元包括一片盒升降马达、一片盒升降丝杠、一片盒升降轨道、一位置传感器，一片盒升降丝杠、片盒升降轨道固定在片盒升降马达上，通过片盒升降马达带动片盒升降丝杠、片盒升降轨道匀速有规律的升起或者下降；取片传输单元包括一取片勾手、一升出、收回汽缸和一顶起、一下落汽缸组成，当片盒升降单元将硅片移动到指定高度时，升出、收回汽缸将取片勾手升出到硅片下面，顶起、下落汽缸再将取片勾手顶起一定的高度，接着升出、收回汽缸收回到指定位置，最后顶起、下落汽缸，硅片坐落在传输皮带上被送出去；传输带依次将硅片间隔均匀的布置在上面；真空吸附取片单元包括一吸盘移栽横梁、一吸盘移栽横梁翻转马达、一真空吸盘架移栽支撑梁和一水平移动机构，吸盘移栽横梁上布置用于片子的吸多套吸盘，吸盘通过电磁阀门的通断将片子吸起，吸盘座通过升降汽缸被升起，吸盘移栽横梁通过水平移动机构整体被推出去，吸盘移栽横梁通过吸盘移栽横梁翻转马达的动力，进行周向翻转。