[实用新型]单/多晶硅棒切割机无效
申请号: | 200920287130.2 | 申请日: | 2009-12-31 |
公开(公告)号: | CN201677411U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 贺贤汉;夏孝平 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B24B27/06;B24B55/02;B24B55/06 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种单/多晶硅棒切割机,该切割机包括晶棒固定装置、切割系统和冷却系统,所述切割系统包括控制器、砂轮片、电机和连杆;所述晶棒固定装置包括若干固定夹紧工装,固定夹紧工装分别设在砂轮片的左右两侧,固定夹紧工装置设在工作台上,所述冷却系统包括喷嘴、冷却水回收器和压力装置,所述切割系统和冷却系统都设在机架上;另外,工作台上设有防尘罩和刻度尺,利用固定夹紧工装分别将晶棒的待切部分和切除部分固定,利用手轮推动砂轮片向上行进将晶棒切割,工作台上还设有防尘罩,避免工作操作时吸入粉尘,设有冷却系统可提高晶棒的切割质量和延长砂轮片的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 多晶 切割机 | ||
【主权项】:
一种单/多晶硅棒切割机,包括用于切割晶硅的切割系统及冷却系统,其特征在于,还包括晶硅固定装置,所述晶硅固定装置包括用于夹紧晶棒不让其在切割时发生移动的固定夹紧工装,所述固定夹紧工装可调整位置地设置在切割机的台面上。
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