[实用新型]镀膜机真空室壁的水冷夹层结构有效
| 申请号： | 200920288485.3 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201648505U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 陈大民 | 申请（专利权）人： | 辽宁粒子源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 杨滨 |
| 地址： | 110161 辽宁省沈阳市东*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种镀膜机真空室壁的水冷夹层结构，它包括有真空室壁，其技术要点是：真空室外壁上设置有一形成水冷夹层的钢板，在钢板上均匀分布有凹窝，凹窝底部与真空室外壁固定连接。本实用新型由于采用凹窝状水冷夹层结构，因此具有如下优点：增强真空室整体刚度，可减少钢板厚度，减少材料消耗；水冷夹层可灵活避开真空室壁焊缝，避免焊缝腐蚀，延长真空室使用寿命，同时又便于检漏和补焊；同时由于凹窝间的阻扰并导流，可以使冷却水在流淌中更均匀的流过各冷却的表面；本新型还具有外形美观，可根据凹窝的分布形成图案，而且结构简单合理。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空 水冷 夹层 结构 | ||
【主权项】：
一种镀膜机真空室壁的水冷夹层结构，它包括有真空室壁，其特征是：在真空室壁的外壁上设置有一形成水冷夹层的钢板，在钢板上均匀分布有凹窝，凹窝底部与真空室外壁固定连接。
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