[实用新型]一种高速控制压电扫描装置

摘要

本实用新型公开了一种高速控制压电扫描装置，其结构为：半导体激光器固定于主固定座上，主反射镜片粘结在弹性铰链支架上，弹性铰链支架栓接在两个椭圆型弹性外框上，压电致动器内嵌于椭圆型弹性外框内部，椭圆型弹性外框栓接在主固定座上。增程反射镜粘结在增程反射镜固定凹形平板的凹型腔内，通过不对称的工字型梁栓接在U型固定支架腔内，U型固定支架固定于主固定座下方，位敏探测器固定于U型固定支架导轨内。给两个压电致动器施加互为反向的驱动电压，椭圆型弹性外框将压电致动器伸缩方向的位移转化为放大后的垂直于伸缩方向的位移，使弹性铰链支架转动，驱动电压大小决定反射镜偏转角度。扫描器通过反射镜偏转角度实时探测系统，可实现主反射镜偏转角度的闭环反馈控制。

主权项

一种高速控制压电扫描装置，其特征在于，该装置的结构为：半导体激光器(3)固定于激光器固定环(2)中，激光器固定环(2)栓接在主固定座(1)上部的水平导轨中；主反射镜(5)粘结在弹性铰链支架(6)的顶部平面上，弹性铰链支架(6)为对称结构、分别栓接在两个椭圆型弹性外框(4a，4b)的一侧，压电致动器(7a，7b)通过预紧力内嵌于椭圆型弹性外框(4a，4b)内，椭圆型弹性外框(4a，4b)的另一侧固定在主固定座(1)上；两个增程反射镜(9a，9b)分别粘结在两个增程反射镜凹形固定平板(8a，8b)的凹形腔内，两个增程反射镜凹形固定平板(8a，8b)栓接在两个不对称的工字型梁(10、12)的两端，工字型梁(10，11)分别固定在U型固定支架(12)两臂导轨内，U型固定支架(12)通过自身的螺孔栓接在主固定座(1)下部的垂直导轨内；L型固定支架(13)栓接在U型固定支架(12)的导轨内，位敏探测器座(14)固定于L型固定支架(13)的上，位敏探测器(15)栓接在位敏探测器座(14)上。