[实用新型]硅棒拉制用子晶夹头无效
申请号: | 200920291112.1 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN201620205U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213213 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅棒拉制用子晶夹头,包括螺纹孔、多棱台孔和导向孔,且螺纹孔、多棱台孔与导向孔为同轴孔系,多棱锥台孔的锥角为90°~150°,且多棱台孔的上口大于下口。由于在夹头的螺纹孔底部开设了同轴的多棱台孔和导向孔,多棱台孔与子晶上连接多棱台相对应,导向孔对子晶的提拉杆进行导向,子晶与夹头之间通过多棱台的轴、孔配合连接结构来实现扭力传递和轴向拉力承受,它与对应的子晶配套使用,能克服现有子晶夹头部件存在的缺点,子晶直接套装在夹头上,无需在子晶的壁上磨制缺口,能使子晶的提拉杆的截面积不减小,从结构上消除子晶在拉制过程的断裂因素,它既能解决子晶的断裂问题,又能实现子晶与子晶夹头的同步旋转。 | ||
搜索关键词: | 拉制 用子晶 夹头 | ||
【主权项】:
一种硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)为同轴孔系,多棱台孔(22)的锥角为90°~150°,且多棱台孔(22)的上口大于下口。
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