[实用新型]具有复向喷洗机构的基板湿制程装置无效
| 申请号： | 200920293192.4 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN201676838U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 周坤麟;蓝文正;刘素珍;何瑞竹;郭先立;高自强 | 申请（专利权）人： | 叙丰企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;李瑞峰 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，其包含有：一机台、两组以上结合在机台的喷洗机构、一带动喷洗机构的滚转驱动装置、及一直线驱动装置。其中：各该喷洗机构具有结合在机台的第一轴承座、第二轴承座、及结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路，管路结合有喷嘴；该滚转驱动装置具有驱动马达、被驱动马达带动的传动轴、及分别对应各喷洗机构而结合在传动轴及管路前端的驱动轮组，各驱动轮组包含结合在传动轴的主驱动组件，及结合在喷洗机构管路前端的从驱动组件，借此组成具有复向喷洗机构的基板湿制程装置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机构 基板湿制程 装置 | ||
【主权项】：
一种具有复向喷洗机构的基板湿制程装置，其包含有：一机台、两组以上结合在机台上的喷洗机构、一带动喷洗机构的滚转驱动装置、及一带动喷洗机构的直线驱动装置，其特征在于：各该喷洗机构具有一结合在机台一侧的第一轴承座、一结合在机台另一侧的第二轴承座、及一结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路，该管路的管身结合有一个以上的喷嘴；该滚转驱动装置具有一驱动马达、一被驱动马达带动的传动轴、及分别对应各喷洗机构而结合在传动轴及管路前端的驱动轮组，各驱动轮组包含一结合在传动轴的主驱动组件，及一结合在喷洗机构管路前端的从驱动组件。
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