[实用新型]一种硅片线切割机的辊轮支撑机构无效
| 申请号： | 200920298379.3 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201566058U | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 尚春祥 | 申请（专利权）人： | 尚春祥 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种硅片线切割机的辊轮支撑机构，涉及线切割机领域，主要由固定端板、连接杆、主动辊轮导轨和从动辊轮导轨组成，主动辊轮和从动辊轮设置在固定端板之间，在主动辊轮的一端还设有主动辊轮导轨，在从动辊轮的一端还设有从动辊轮导轨。本实用新型有效防止主动辊轮和从动辊轮的轴向和径向跳动，为切片的精度提供了保证；采取以上措施使得带有该支撑机构的线切割机切出的产品薄厚误差仅为5μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割机 支撑 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片线切割机的辊轮支撑机构，其特征在于：主要由固定端板(1)、连接杆(5)、主动辊轮导轨(7)和从动辊轮导轨(8)组成，固定端板(1)为一个三角形的整板，由四个连接杆(5)将独立的左右端板固定于主动辊轮(2)和从动辊轮(3)的两端，并使左右端板与辊轮连接为一个整体，其中的两个连接杆(5)为中空结构，在主动辊轮(2)的一端设有主动辊轮导轨(7)，在从动辊轮(3)的一端设有从动辊轮导轨(8)。
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