[实用新型]真空镀膜磁控溅射磁流体密封旋转靶无效
| 申请号： | 200920298508.9 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN201614407U | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 甘国工 | 申请（专利权）人： | 甘国工 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人： | 江晓萍 |
| 地址： | 610100 四川省成都市龙泉驿区经济*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜磁控溅射磁流体密封旋转靶，包括旋转靶管，位于旋转靶管内的带冷却水通道的磁钢组件，电源引入电极，装于旋转靶管至少一端上的旋转靶用端头，位于旋转靶用端头中的支撑轴承，其特征是旋转靶用端头中有与磁钢组件中冷却水通道相通的旋转空心轴，磁流体密封件套在旋转空心轴上并与旋转空心轴紧密贴合，旋转空心轴上有与旋转靶管连接的卡端。本实用新型旋转靶磁控溅射面积大，端头封水、封气效果好，冷却水通过旋转空心轴直接对磁流体密封件进行冷却，冷却效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 磁控溅射 流体 密封 旋转 | ||
【主权项】：
真空镀膜磁控溅射磁流体密封旋转靶，包括旋转靶管，位于旋转靶管内的带冷却水通道的磁钢组件，电源引入电极，装于旋转靶管至少一端上的旋转靶用端头，位于旋转靶用端头中的支撑轴承，其特征在于旋转靶用端头中有与磁钢组件中冷却水通道相通的旋转空心轴，磁流体密封件套在旋转空心轴上并与旋转空心轴紧密贴合，旋转空心轴上有与旋转靶管连接的卡端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于甘国工，未经甘国工许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920298508.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
