[实用新型]硅片线切割机的切割总成无效

专利信息
申请号: 200920298742.1 申请日: 2009-12-29
公开(公告)号: CN201566060U 公开(公告)日: 2010-09-01
发明(设计)人: 尚春祥 申请(专利权)人: 洛阳神合电子科技有限责任公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;H01L21/304
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河南省洛阳市高新*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 硅片线切割机的切割总成,主要由主动辊轮、从动辊轮、端板和切割线构成,主动辊轮和从动辊轮由端板支撑,主动辊轮和从动辊轮的圆周上分别设有环形的线槽,主动辊轮和从动辊轮上线槽数相等,且任意两个相邻线槽的间距相等,切割线绕设在主动辊轮和从动辊轮的线槽内,所述的切割线为环状,其数量与主动辊轮的线槽数量相等。设置的数百根环状切割线使抗拉强度的大幅提高,减少了断线几率,保证了设备连续作业的能力;可大大提高线速度,因此也大大提高了切割效率,并且保证了切片精度和质量。
搜索关键词: 硅片 切割机 切割 总成
【主权项】:
硅片线切割机的切割总成,主要由主动辊轮(1)、从动辊轮(2)、端板(4)和切割线(3)构成,主动辊轮(1)和从动辊轮(2)由端板(4)支撑,其特征在于:主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上分别分布有各自独立的线槽(5),线槽(5)呈绕辊轮一周的环形,主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上的线槽数相等,切割线(3)绕设在主动辊轮(1)和从动辊轮(2)上的线槽(5)内,所述的切割线(3)为环状,其数量与主动辊轮(1)的线槽数量相等。
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