[实用新型]扭转梁电容式射频微机械开关无效
| 申请号： | 200920306699.9 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201417715Y | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 宋明歆;梅金硕;宋亮;殷景华;王东兴 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 徐爱萍 |
| 地址： | 150080黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 扭转梁电容式射频微机械开关，它涉及一种电容式射频微机械开关。针对目前电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V问题。衬底的上端面与第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，信号输出线的上端面与锚的下端面连接，悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁构成，挠度悬臂梁的一端固定在锚上，挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接。本实用新型用于控制高频信号的通断。 | ||
| 搜索关键词： | 扭转 电容 射频 微机 开关 | ||
【主权项】：
1.一种扭转梁电容式射频微机械开关，所述机械开关包括衬底(1)、第一绝缘介质层(2)、多个信号输出线(3)、锚(5)和上电极(6)；其特征在于所述机械开关还包括悬臂梁(7)，所述衬底(1)的上端面与第一绝缘介质层(2)的下端面连接，所述第一绝缘介质层(2)的上端面分别与多个信号输出线(3)连接，每个信号输出线(3)的上端面与锚(5)的下端面连接，所述悬臂梁(7)由制成一体的挠度悬臂梁(7-1)和扭转悬臂梁(7-2)构成，所述挠度悬臂梁(7-1)的一端固定在锚(5)上，所述挠度悬臂梁(7-1)的另一端与上电极(6)的下端面连接。
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