[实用新型]真空排气机无效
| 申请号： | 200920306935.7 | 申请日： | 2009-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201549478U | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 陆文钦 | 申请（专利权）人： | 陆文钦 |
| 主分类号： | H01K3/24 | 分类号： | H01K3/24;H01J9/385 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所 33216 | 代理人： | 朱枫 |
| 地址： | 321100 浙江兰溪轻工业*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种真空排气机，包括两个高真空挡板阀(1)、两个接头(3)、一个金属油扩散泵或分子泵(4)、两个工位连接管道(5)、两个冷却管道(6)，其特征在于，还有一个高真空储气桶(2)，两个高真空挡板阀(1)分别通过接头(3)与这个高真空储气桶(2)连接，高真空储气桶(2)与一个金属油扩散泵或分子泵(4)相连。本实用新型创造抽真空时间短、效率高、能耗低，还可以节约材料。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气 | ||
【主权项】：
一种真空排气机，包括高真空挡板阀(1)、接头(3)、金属油扩散泵或分子泵(4)、工位连接管道(5)、冷却管道(6)，其特征在于，还有高真空储气桶(2)，高真空挡板阀(1)分别通过接头(3)与高真空储气桶(2)连接，高真空储气桶(2)与金属油扩散泵或分子泵(4)相连。
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