[实用新型]多晶硅定向结晶炉无效
申请号: | 200920307263.1 | 申请日: | 2009-08-03 |
公开(公告)号: | CN201473326U | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 吴雄 | 申请(专利权)人: | 龙岩市龙创硅业有限公司;吴雄 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 福州智理专利代理有限公司 35208 | 代理人: | 丁秀丽 |
地址: | 364000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅定向结晶炉,它包括炉体和炉盖,炉膛四周安装硅钼棒,硅钼棒的电流输入、输出端分别通过电导线与炉体外壳壁上的电源连接器连接,硅钼棒的电流输入、输出端与电导线之间通过弹簧卡接装置连接;弹簧卡接装置包括一对U型卡接件及紧固件,卡接件中部设U型凹槽,硅钼棒的电流输入或输出端套置在由两个卡接件的凹槽对扣后形成的套孔内,凹槽内设活动金属弹簧片,弹簧片的一端与卡接件固接,另一端悬置于凹槽内并扣紧在硅钼棒的棒体外壁上,且弹簧片与凹槽的槽壁间留有活动空隙;电导线与弹簧片导电连接。本实用新型不仅适应了多晶硅精练提纯工艺所需要的高温环境要求,而且工作正常稳定,生产效率和结晶成品率高。 | ||
搜索关键词: | 多晶 定向 结晶 | ||
【主权项】:
一种多晶硅定向结晶炉,它包括炉体(1)和炉盖(2),其特征在于:在炉体(1)的炉膛(11)四周安装有硅钼棒(3),硅钼棒(3)的电流输入端和输出端分别通过电导线(4)与安装于炉体(1)外壳壁上的电源连接器(5)连接,硅钼棒(3)的电流输入端与电导线(4)之间、硅钼棒(3)的电流输出端与电导线(4)之间分别通过弹簧卡接装置(6)进行连接;每个弹簧卡接装置(6)均包括一对U型卡接件(61)以及用于将两个U型卡接件(61)锁紧的紧固件(62),每个U型卡接件(61)的中部设有U型凹槽(63),硅钼棒(3)的电流输入端或输出端套置在由两个U型卡接件(61)的U型凹槽(63)对扣后形成的套孔内,每个U型卡接件(61)的U型凹槽(63)内还设有活动金属弹簧片(64),该活动金属弹簧片(64)的一端与U型卡接件(61)固定连接,另一端悬置于U型凹槽(63)内并扣紧在硅钼棒(3)的棒体外壁上,且活动金属弹簧片(64)与U型凹槽(63)的槽壁之间留有活动空隙;所述电导线(4)与活动金属弹簧片(64)导电连接。
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