[实用新型]用于真空沉积系统的侧热台无效
| 申请号： | 200920319148.6 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201601846U | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 姚忻;李慧 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电力加热技术领域的用于真空沉积系统的侧热台，包括：电热盘、热电偶、底座、导热盖、压片和导热面板，其中：导热盖卡接于底座上，电热盘和热电偶分别固定设置于底座内，导热面板固定设置于电热盘的外侧并与受热体相接触，压片的一端固定设置于导热盖上，另一端与受热体相接触。本实用新型解决了传统的固定装置容易受热胀冷缩的影响而卡滞，加热系统低效率、高能耗以及受热体的装卸不便等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 沉积 系统 侧热台 | ||
【主权项】：
一种用于真空沉积系统的侧热台，其特征在于，包括：电热盘、热电偶、底座、导热盖、压片和导热面板，其中：导热盖卡接于底座上，电热盘和热电偶分别固定设置于底座内，导热面板固定设置于电热盘的外侧并与受热体相接触，压片的一端固定设置于导热盖上，另一端与受热体相接触。
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