[实用新型]离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机有效
| 申请号： | 200920350080.8 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201614404U | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张健;孟凡荣;张军;周景玉;佟辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备，具体地说是一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；所述真空室内设有与其密封连接的中心转轴，中心转轴的底端与安装在机架上的驱动电机的输出轴相连接；所述中心转轴的两侧对称设有安装在真空室内壁的离子束和弧源，中心转轴上设有与其共同转动的工件架；该工件架位于离子束和弧源的下方。本实用新型在真空室内安装了离子源和弧源，提高了圆柱靶材的利用率；在镀膜时离子源和弧源同时工作，利用离子源提高工作气体的离化率，对薄膜的光洁度和附着力有很大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 辅助 离子镀 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机，包括真空室、真空抽气系统及机架，真空室安装在机架上，真空抽气系统与真空室密封连接；其特征在于：所述真空室(4)内设有与其密封连接的中心转轴(14)，中心转轴(14)的底端与安装在机架(6)上的驱动电机(5)的输出轴相连接；所述中心转轴(14)的两侧对称设有安装在真空室(4)内壁的离子束(2)和弧源(12)，中心转轴(14)上设有与其共同转动的工件架(11)；该工件架(11)位于离子束(2)和弧源(12)的下方。
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