[发明专利]对光学光刻系统中的扇区极化照明源进行建模有效
| 申请号： | 200980000254.0 | 申请日： | 2009-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101720450A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张乔林;H·宋 | 申请（专利权）人： | 新思科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;黄耀钧 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一个实施例提供了一种构造源极化模型，以仿真光学光刻系统中的照明源的分段恒定线性极化配置的系统。在操作中，系统开始于将照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配照明源的物理实现。接下来，通过分别指定每个扇区中的恒定线性极化状态以匹配照明源的极化配置，系统为照明源构造源极化模型。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 光刻 系统 中的 扇区 极化 照明 进行 建模 | ||
【主权项】：
一种用于构造源极化模型以仿真光学光刻系统中的横向电(TE)极化照明源的物理实现的方法，所述方法包括：将所述照明源的照明瞳面分割成一组扇区以匹配所述照明源的物理实现；以及，对于每个扇区，限定基本垂直于平分所述扇区的半径的恒定线性极化角；以及基于所述相应的线性极化角为所述扇区中的线性极化状态提供数学表示。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新思科技有限公司，未经新思科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980000254.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种软件界面语言的选择方法及装置
- 下一篇：一种治疗痛风的口服液及其制备方法
