[发明专利]研磨玻璃衬底的方法和制造玻璃衬底的方法无效
| 申请号： | 200980000302.6 | 申请日： | 2009-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101827686A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 堀江满;朝长浩之;伊藤正文;下平宪昭 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;C09K3/14;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨玻璃衬底的方法和制造玻璃衬底的方法，其减少了研磨步骤之后在玻璃衬底上产生的斑点。本发明的研磨玻璃衬底的方法包括在玻璃衬底的最终研磨步骤中注入二氧化硅研磨剂和高沸点溶剂。所述高沸点溶剂优选为分子量300以下且沸点150℃以上的溶剂。作为分子量300以下且沸点150℃以上的高沸点溶剂的实例，包括乙二醇、丙二醇和丙三醇。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 玻璃 衬底 方法 制造 | ||
【主权项】：
一种研磨玻璃衬底的方法，其包括利用玻璃衬底研磨装置对所述玻璃衬底进行研磨，所述方法包括：在玻璃衬底的最终研磨步骤中向所述玻璃衬底研磨装置内注入二氧化硅研磨剂和沸点为150℃以上的高沸点溶剂。
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