[发明专利]涂敷膜形成方法以及涂敷膜形成装置有效
| 申请号： | 200980000495.5 | 申请日： | 2009-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN101687214A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 野野川正巳;市川明昌 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/18 | 分类号： | B05D1/18;B05C3/09;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷膜形成方法，将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面上升到上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。 | ||
| 搜索关键词： | 涂敷膜 形成 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷膜形成方法，其特征在于，将要形成涂敷膜的涂敷对象物设置在浸渍槽内，将用于形成上述涂敷膜的涂敷液送入上述浸渍槽内，在使上述涂敷液的液面上升到上述涂敷对象物的要形成涂敷膜的部位的最上部浸泡在上述涂敷液之后，通过将上述涂敷液向上述浸渍槽外排出而使上述涂敷液的液面降下去，从而在上述涂敷对象物上形成涂敷膜。
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