[发明专利]位置测量系统及位置测量方法、移动体装置、移动体驱动方法、曝光装置及曝光方法、图案形成装置、以及组件制造方法

摘要

本发明的位置测量系统，在载台下面固定有设置了移动光栅(34Y，34X，36Y，36X)的反射镜区块(30)。在与载台下面相对向的载台座上面，配置有固定光栅(38Y1，38Y2，38X)。包含移动光栅(34Y，36Y)及固定光栅(38Y1，38Y2)，而构成对载台的Y位置信息进行测量的Y编码器(20Y1，20Y2)。同样地，包含移动光栅(34X，36X)及固定光栅(38X)，而构成对载台的X位置信息进行测量的X编码器(20X)。

主权项

一种位置测量系统，对沿着包含相互正交的第1轴及第2轴的规定平面移动的移动体的位置信息进行测量，上述位置测量系统的特征在于包括：第1固定光栅及第2固定光栅，在上述移动体的外部分别延伸设置于平行于上述第1轴的方向，其中上述第1固定光栅以平行于上述第1轴的方向为周期方向，上述第2固定光栅以平行于上述第2轴的方向为周期方向；光学构件，具有把与上述第1及第2固定光栅的周期方向对应的方向分别作为其周期方向的第1及第2移动光栅，并被安装于上述移动体；以及第1及第2感光系统，分别对应于上述第1及第2固定光栅，包含上述第1固定光栅、上述第1移动光栅、及上述第1感光系统，构成对与平行于上述第1轴的方向相关的上述移动体的位置信息进行测量的第1测量装置，包含上述第2固定光栅、上述第2移动光栅、及上述第2感光系统，构成对与平行于上述第2轴的方向相关的上述移动体的位置信息进行测量的第2测量装置。