[发明专利]成膜方法有效
| 申请号： | 200980100663.8 | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102124136A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 盐野一郎;长江亦周;姜友松;菅原卓哉 | 申请（专利权）人： | 新柯隆株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C03C17/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的成膜方法具有：对基板(101)的表面照射具有能量的粒子的第一照射工序；使用干式法在所述第一照射工序后的基板(101)的表面成膜第一膜(103)的第一成膜工序；在第一膜(103)的表面成膜具有防油性的第二膜(105)的第二成膜工序。根据该发明，能够提供可以制造具有防油性膜的防油性基材的成膜方法，其中的防油性膜具备能够耐用的耐磨损性。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜方法，其特征在于，包括：对基板的表面照射具有能量的粒子的第一照射工序；使用干式法在所述第一照射工序后的所述基板的表面成膜第一膜的第一成膜工序；在所述第一膜的表面成膜具有防油性的第二膜的第二成膜工序。
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