[发明专利]脉冲电子源、脉冲电子源的供电方法和控制脉冲电子源的方法有效
| 申请号： | 200980101926.7 | 申请日： | 2009-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101952926A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 马克西姆·马卡罗夫 | 申请（专利权）人： | 埃克西可集团公司 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;H01J33/00;H01S3/097 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 张文;黄启行 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲电子源(1)，包括：电离室(4)；加速室(2)，所述加速室(2)具有用于吸引并加速一次离子和形成二次电子束的电极(3)，所述脉冲电子源(1)的特征在于：所述脉冲电子源(1)包括电源(11)，该电源(11)适于施加正电压到所述电极(3)以将一次等离子体(17)驱动出所述加速室(2)，以及施加负电压脉冲到所述电极(3)以吸引并加速所述一次离子和形成二次电子束。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 电子 供电 方法 控制 | ||
【主权项】：
一种脉冲电子源(1)，包括：电离室(4)；加速室(2)，所述加速室(2)设置有用于吸引并加速一次离子和形成二次电子束的电极(3)，其特征在于，所述脉冲电子源(1)包括电源(11)，所述电源(11)配置为施加正电压到所述电极(3)以将一次等离子体(17)驱动出所述加速室(2)，并且所述电源(11)配置为施加负电压脉冲到所述电极(3)以吸引并加速一次离子和形成二次电子束。
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