[发明专利]真空吸盘有效

专利信息
申请号: 200980102484.8 申请日: 2009-01-19
公开(公告)号: CN101919040A 公开(公告)日: 2010-12-15
发明(设计)人: 林权炫 申请(专利权)人: 林权炫
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 北京华夏博通专利事务所 11264 代理人: 刘俊
地址: 韩国首*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供一种真空吸盘,其能够减少成本以及重量,并且能够缩短夹持时间。该真空吸盘包括:本体(100),其上具有排列成格子状的多个支撑突起(110)和真空槽(111),其内部分别形成有设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122),在过滤器空间(122)的上部形成有与真空槽(111)相通的真空孔(123),在后方二侧具有分别与设置空间(120)和真空空间(121)分别相通的入口(130)和出口(131);空气储存阀(B)、真空传感器(S)、真空产生器(V)和过滤器(F),分别设置在本体(100)的设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122)中;压力计(200)和真空计(300),分别安装在本体(100)的前方二侧,与入口(130)和真空空间(121)分别相通;开关(400),可前后移动地设置在本体(100)的前方中央里,以开闭真空空间(121)本体外壳(500),与本体(100)的下部气密地连接;以及过滤器外壳(600),与过滤器空间(122)的下部气密地连接。
搜索关键词: 真空 吸盘
【主权项】:
一种真空吸盘,其特征在于,该真空吸盘包括:本体(100),其上具有排列成格子状的多个支撑突起(110)和真空槽(111),其内部分别形成有设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122),在过滤器空间(122)的上部形成有与真空槽(111)相通的真空孔(123),在后方二侧具有分别与设置空间(120)和真空空间(121)分别相通的入口(130)和出口(131);空气储存阀(B)、真空传感器(S)、真空产生器(V)和过滤器(F),分别设置在上述本体(100)的设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122)中;压力计(200)和真空计(300),分别安装在上述本体(100)的前方二侧,与入口(130)和真空空间(121)分别相通;开关(400),可前后移动地设置在上述本体(100)的前方中央里,以开闭真空空间(121);本体外壳(500),与上述本体(100)的下部气密地连接;以及过滤器外壳(600),与上述过滤器空间(122)的下部连接。
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