[发明专利]用于光电子器件的横跨丝网形成的方法、设备和辊轴有效

专利信息
申请号: 200980103245.4 申请日: 2009-01-08
公开(公告)号: CN101926015A 公开(公告)日: 2010-12-22
发明(设计)人: A·R·杜加尔;潘克菲;S·罗戈耶维克 申请(专利权)人: 通用电气公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 严志军;谭祐祥
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 用于形成光电子器件例如发光二极管矩阵或光伏电池矩阵的设备和方法,在卷到卷工艺的一个实施例中,具有凸起的螺旋形涂布表面的独特构造的辊轴与设置在衬底上的一角度上的多个第一电极对准,用于沿着衬底的横跨丝网方向涂布多个隔开的成角度的光电子材料的涂布带。
搜索关键词: 用于 光电子 器件 横跨 丝网 形成 方法 设备 辊轴
【主权项】:
一种用于形成多个光电子器件的方法,所述方法包括:提供具有纵向丝网方向和横跨丝网方向的衬底,以及设置在所述衬底上的多个第一电极,从而限定沿着纵向丝网方向的隔开的第一电极的多个纵向延伸的列和相对于横跨丝网方向而设置在一角度上的隔开的第一电极的多个行;提供第一辊轴,其具有围绕所述第一辊轴而延伸的第一凸起的螺旋形涂布表面;首先使所述衬底和所述第一电极的多个隔开的列相对于所述第一辊轴对准并经过所述第一轴辊,从而从所述第一凸起的螺旋形涂布表面将第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带沉淀到所述衬底和多行第一电极上;提供第二辊轴,其具有围绕所述第二辊轴而延伸的第二凸起的螺旋形涂布表面;其次使所述衬底、所述第一电极的多个隔开的列和所述第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带相对于所述第二辊轴对准并经过所述第二辊轴,从而从所述第二凸起的螺旋形涂布表面将第二多个成角度的隔开的第二光电子材料的涂布带沉淀到所述第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带上;在所述第一电极的相邻的纵向延伸的列之间除去沉淀的成角度的隔开的所述第一光电子材料和所述第二光电子材料的涂布带的部分,以暴露出所述纵向延伸的第一电极的列的部分,而所述第一电极的多个列的其它部分保持被所述第一光电子材料和所述第二光学材料所覆盖;和提供多个隔开的第二电极,其将所述第一电极的裸露部分与设置在相邻的第一电极上的涂层部分电联接起来,从而沿着所述横跨丝网方向形成在一角度上串联起来的光电子器件的多个成角度的行。
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