[发明专利]探针单元

摘要

本发明提供一种用于抑制起因于探针的细径化造成的容许电流的降低的探针单元，其具备：多个大径探针；多个小径探针，其直径比大径探针的直径小；大径探针支架，具有：多个大孔部，分别独立地保持多个大径探针；多个收容孔部，直径比大孔部的直径小，且与多个大孔部的任一个连通，并在与大径探针接触的状态下收容小径探针的端部，并且互相连通的大孔部及收容孔部的组合在厚度方向上穿过该大径探针支架；小径探针支架，其设有多个小孔部，并层叠在大径探针支架上，使得各小孔部分别与多个收容孔部中的任一个连通，多个小孔部在厚度方向上穿过该小径探针支架，并独立地将多个小径探针保持在止脱的状态，其中，互相连通的大孔部与小孔部的长度方向的中心轴不同，在多个小孔部中包含邻接的二个小孔部的中心轴间距离比分别对应该二个小孔部的二个大孔部的中心轴间距离小的小孔部。

主权项

一种探针单元，其特征在于，具有：多个大径探针，该多个大径探针各自使用导电性材料形成，且沿着长度方向伸缩自如；多个小径探针，该多个小径探针各自使用导电性材料形成，且具有比所述大径探针的直径小的直径；大径探针支架，其具有：多个大孔部，该多个大孔部分别独立地保持所述多个大径探针；多个收容孔部，该多个收容孔部各自的直径比所述大孔部小，且与所述多个大孔部中的任一个连通，并以使所述小径探针的端部与所述大径探针接触的状态收容所述小径探针的端部，并且互相连通的所述大孔部及所述收容孔部的组合在厚度方向上穿过该大径探针支架；小径探针支架，其设有多个小孔部，并层叠在所述大径探针支架上，使得各小孔部分别与所述多个收容孔部中的任一个连通，所述多个小孔部在厚度方向上穿过该小径探针支架，并独立地将所述多个小径探针保持在止脱的状态，其中，互相连通的所述大孔部及所述小孔部的长度方向的中心轴不同，在所述多个小孔部中包含邻接的二个小孔部的中心轴间距离比分别对应该二个小孔部的二个大孔部的中心轴间距离小的小孔部。