[发明专利]自主自适应半导体制造有效
| 申请号： | 200980104562.8 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN102016730A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | S·考歇尔;S·帕特尔;杉岛贤次 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;钱静芳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种自主的基于生物学的学习工具系统和该工具系统用来进行学习和分析的方法。自主的基于生物学的学习工具系统包括(a)执行一组特定任务或过程并生成资产和与资产相关的表征各过程和相关联的工具性能的数据的一个或多个工具系统；(b)接收并格式化数据的交互管理器，以及(c)基于生物学习原理的自主学习系统，这样的系统包括被递归地定义并通过网络进行通信的存储器平台和处理平台。自主工具系统可以递归地部署以组装日益复杂的自主工具。在与单独的或组装的复杂自主工具相关联的自主学习系统中生成和累积的知识可以被投放到可用于学习并基于上下文驱动工具目标的语义网络中。 | ||
| 搜索关键词： | 自主 自适应 半导体 制造 | ||
【主权项】：
一种半导体工具系统，包括：用于制作产品的一组工具，所述一组工具中的每一工具生成促进所述产品的制作的产品资产；一组自主学习系统，每一自主学习系统驻留在所述一组工具中的每一工具中并优化每一工具的性能；以及从所述一组工具接收打包数据并生成优化所述产品的制作的知识的不同的自主学习系统。
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