[发明专利]加工多器件板的激光器有效
| 申请号： | 200980105445.3 | 申请日： | 2009-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN101971099A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | P·T·拉姆斯拜 | 申请（专利权）人： | 万佳雷射有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 胡强;蔡民军 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于通过矢量化直写的激光刻蚀来加工多器件板的系统，该多器件板包括具有正面和背面的基片、布置在正面上的元器件区域第一阵列和布置在该背面上的元器件区域第二阵列，该系统包括：具有一对相对安装的加工头的第一加工站，每个加工头包括具有激光束扫描仪和透镜单元的激光束传递装置并包括测距机构；用于将该板安装在第一加工站的加工头之间的安装机构，以使板和第一加工站的相对位置能被调整，从而加工头能与选定的待加工的正面元器件区域和背面元器件区域对准；每个加工头可操作，以便使用所述测距机构来测定透镜单元和待加工的元器件区域的表面之间的距离，根据测定结果来控制该透镜单元的焦点，和矢量直写该元器件区域。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 器件 激光器 | ||
【主权项】：
一种用于通过矢量化直写的激光刻蚀来加工多器件板的系统，该多器件板包括具有正面和背面的基片、布置在该正面上的元器件区域第一阵列和布置在该背面上的元器件区域第二阵列，该系统包括：第一加工站，包括一对相对安装的加工头，每个所述加工头包括具有激光束扫描仪和透镜单元的激光束传递装置并包括测距机构；安装机构，用于将所述板安装在第一加工站的所述加工头之间，从而该板和该第一加工站的相对位置能被调整，进而所述加工头能与选定的待加工的正面元器件区域和背面元器件区域对准；其中，每个所述加工头可被操作，以便使用所述测距机构测定该透镜单元和待加工的元器件区域的表面之间的距离；根据该测定结果来控制所述透镜单元的焦点；和矢量化直写所述元器件区域。
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