[发明专利]微流体装置及操作方法

摘要

一种微机电系统(MEMS)装置(10)和用于操作该装置(10)以确定流体的性质的方法。该装置(10)具有管(14)，管(14)从基部(16)延伸且与衬底表面(18)间隔开，以在垂直于表面(18)的平面中进行振动运动。管(14)限定了连续内部通路(20)，其具有流体地连接到基部(16)上的流体入口(22)和流体出口(24)。与基部(16)相对地附连到管(14)的远端部分(14C)上的悬臂构件(30)被构造成以便相对于远端部分(14C)进行振动运动。可操作以在管(14)和悬臂构件(30)中引起振动运动的驱动电极(26)设置于衬底表面(18)上。感测电极(28)设置于衬底表面(18)上，以用于感测在振动时管(14)的科里奥利诱导的偏转，并生成输出，可根据该输出来确定流动通过管(14)的流体的性质。

主权项

一种用于确定流体的至少一种性质的MEMS装置(10)，所述装置(10)包括：衬底(12)；在所述衬底(12)上的结构，所述结构包括基部(16)和管(14)，所述管(14)从所述基部(16)延伸且与所述衬底(12)的表面(18)间隔开，以便能在垂直于所述衬底(12)的表面(18)的平面中进行振动运动，所述管(14)包括连续内部通路(20)，流体地连接到所述基部(16)的所述内部通路(20)的流体入口(22)和流体出口(24)，以及相对于所述基部(16)的远端部分(14C)；悬臂构件(30)，所述悬臂构件(30)附连到所述管(14)的远端部分(14C)上，并且构造成以便相对于所述远端部分(14C)且在垂直于所述衬底(12)的表面(18)的平面中进行振动运动；在所述衬底(12)的表面(18)上的至少一个驱动电极(26)，邻近所述悬臂构件(30)和所述管(14)的远端部分(14C)中的至少一个，且可操作以引起所述管(14)和所述悬臂构件(30)的振动运动；在所述衬底(12)的表面(18)上的感测电极(28)，所述感测电极(28)适于在由所述驱动电极(26)振动时感测所述管(14)的偏转，且产生对应于该被感测的偏转的输出；以及，用于根据所述感测电极(28)的输出来确定流动通过所述内部通路(20)的流体的至少一种性质的器件(42)。