[发明专利]含脂环结构的化合物、(甲基)丙烯酸酯类及其制备方法

摘要

通过含有具有酯键的连结基团和/或具有醚键的连结基团的含脂环结构的化合物、由该含脂环结构的化合物衍生得到的(甲基)丙烯酸酯类及其制备方法，提供作为半导体装置制造中使用的光致抗蚀剂用单体等有用的溶解性、相容性、缺陷降低、粗糙度改善等优异的含脂环结构的化合物、(甲基)丙烯酸酯类及其制备方法。

主权项

1.下述通式(I)所示的含脂环结构的化合物，R¹-L-X    (I)(式中，R¹为下述通式(i)所示的含碳原子数为5～20的脂环结构的基团，L为下述通式(ii)所示的连结基团，X为卤原子或羟基)，[化1](式中，Z表示可以具有杂原子的碳原子数为5～20的脂环结构，R²表示可以具有杂原子的碳原子数为1～5的二价的取代或未取代的烃基，R³表示可以具有杂原子的取代或未取代的烷基、卤原子、羟基、氰基、羧基、氧代基或氨基，p和q各自独立地表示0以上的整数，多个R²可以相同或不同，多个R³可以相同或不同)，-{(L^a)_l，(L^b)_m，(L^c)_n}-(ii)(式中，L^a为下式(a)所示的连结基团，L^b为下式(b)所示的连结基团，L^c为下式(c)所示的连结基团，此外，L^a、L^b和L^c采用任意的结合顺序，l、m和n各自独立地为0以上的整数，满足l+m+n≥2)，[化2](式中，R⁴各自独立地为氢原子或甲基)。