[发明专利]碳纳米管支持体及其制造方法无效
申请号: | 200980106910.5 | 申请日: | 2009-02-26 |
公开(公告)号: | CN101960286A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 中山喜万;平原佳织;千贺亮典 | 申请(专利权)人: | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
主分类号: | G01N13/10 | 分类号: | G01N13/10 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种在气氛中的残留烃极少的高真空状态下,可进行牢固的CNT固定处理,采用单层或2层等的细径CNT的CNT纳米器件及、该制作过程中必需的CNT载体等CNT支持体及其制造方法。在支持体18上形成支持部18a。使CNT15的基端部15a转移至支持部18a,向CNT15的基端部15a照射电子束17或离子束。被覆基端部15a及支持部18a的碳物质层19通过所述电子束17或离子束,变成无定形碳层及石墨层。通过该石墨层,将CNT15固定于支持体18,制成CNT支持体。该束照射在TEM内的高真空下进行。 | ||
搜索关键词: | 纳米 支持 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种CNT支持体,其特征在于,在支持体的支持部固定了碳纳米管(下面称作CNT)的CNT支持体中,在所述支持部的表面形成下侧石墨层,将CNT固定部接触配置在所述下侧石墨层的表面,通过进一步使上侧石墨层被覆所述固定部,使所述CNT固定于所述支持部。
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