[发明专利]用于电解沉积铜的水性酸浴及方法有效
| 申请号： | 200980106955.2 | 申请日： | 2009-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101960054A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | H·布伦纳;B·罗尔福斯;D·罗德;T·普利特 | 申请（专利权）人： | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;H05K3/24;H05K3/42;C25D5/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了产生非常均一的铜沉积物，尤其是在盲微孔(BMV)及沟渠中，提供一种用于电解沉积铜的水性酸浴，该酸浴含有至少一种铜离子源、至少一种酸离子源、至少一种亮光剂化合物及至少一种调平剂化合物，其中该至少一种调平剂化合物选自合成制造的非功能化肽、合成制造的功能化氨基酸及合成制造的功能化肽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电解 沉积 水性 方法 | ||
【主权项】：
一种用于电解沉积铜的水性酸浴，所述浴含有至少一种铜离子源、至少一种酸离子源、至少一种亮光剂化合物及至少一种调平剂化合物，其中至少一种调平剂化合物选自合成制造的非功能化肽、合成制造的功能化氨基酸及合成制造的功能化肽。
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