[发明专利]高频天线单元及等离子处理装置有效
| 申请号： | 200980107376.X | 申请日： | 2009-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101971715A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 节原裕一;江部明宪 | 申请（专利权）人： | EMD株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 樊建中 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种高频天线单元，其可在真空容器内产生高密度的放电等离子。本发明的高频天线单元的特征为，包括用以流动高频电流的高频天线(11)、被设置在高频天线之中位于真空容器内的部分的周围的绝缘体制作的保护管(12)、及上述高频天线(11)与上述保护管(12)之间的缓冲区域(13)。在此，“缓冲区域”表示抑制电子加速的区域，例如，可由真空或绝缘体形成。通过这种构成，因为可抑制在天线(11)及保护管(12)之间发生放电，故可在真空容器内产生高密度的放电等离子。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 天线 单元 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种高频天线单元，在用以在真空容器内产生等离子的装置中使用，其特征在于，包括：a)高频天线，用以流动高频电流；b)绝缘体制作的保护管，被设置在上述高频天线之中位于真空容器内的部分的周围；及c)上述高频天线与上述保护管之间的缓冲区域。
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