[发明专利]表面处理装置有效
| 申请号： | 200980107772.2 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101959594A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 平岩次郎;竹林仁;吉本修;田中则之;藤田一郎;佐佐木启能;森一高 | 申请（专利权）人： | 东洋炭素株式会社 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01D53/68;C08J7/12;C23C8/08;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的表面处理装置(100)具备：稀释气体供给装置(1)，氟气供给装置(2)，混合稀释气体与氟气的混合器(5)，以及采用由混合器(5)生成的混合气体对被处理物进行处理的反应器(6)。由加热器(8)对从稀释气体供给装置供给的稀释气体进行加热，在混合器(5)中混合加热后的稀释气体与从氟气供给装置供给的氟气。混合后的气体向反应器(6)输送。反应器(6)内的气体通过排气装置(207)从反应器(6)导向流路(219、220、221、222)。阀(223、224、225、226)依次打开，通过使用流路(219、220、221、222)，一边调整反应器(6)内的气体的流量一边将反应器(6)内的气体向除害装置(208)输送。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种表面处理装置，具备：供给稀释气体的稀释气体供给装置，供给氟气的氟气供给装置，混合上述稀释气体与上述氟气而生成混合气体的混合器，以及使被处理物与上述混合气体相接触的反应器，其特征是，还具备对上述稀释气体进行加热的加热机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东洋炭素株式会社，未经东洋炭素株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980107772.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种花生联合收获机
- 下一篇：救生锤实时监控集成报警系统
