[发明专利]辐射敏感性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200980108706.7 申请日: 2009-03-09
公开(公告)号: CN101971096A 公开(公告)日: 2011-02-09
发明(设计)人: 武田贵志;小谷典久 申请(专利权)人: 长瀬化成株式会社
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027;H05B33/12;H05B33/22
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 丁香兰;庞东成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于提供一种辐射敏感性树脂组合物,所述树脂组合物使得即使在使用酚醛清漆树脂时,在热烧制后几乎没有脱出气从树脂膜排出。本发明还涉及一种有机电致发光元件,在所述有机电致发光元件中通过使用所述组合物以辐射光刻形成有绝缘膜。所述辐射敏感性树脂组合物含有:(A)包含具有以下结构的重复单元的酚醛清漆树脂,所述结构中至少以甲基、苯基或羟基苯基取代与苯酚相连的亚甲基中的氢原子;(B)选自由苯并噁嗪化合物、碳二亚胺化合物、三嗪硫醇化合物和双马来酰亚胺化合物组成的组中的至少一种热反应性化合物;(C)辐射敏感性化合物。
搜索关键词: 辐射 敏感性 树脂 组合
【主权项】:
1.一种辐射敏感性树脂组合物,所述组合物含有:(A)具有如下给出的式(I)所表示的重复单元的酚醛清漆树脂;(B)选自由苯并嗪化合物、碳二亚胺化合物、三嗪硫醇化合物和双马来酰亚胺化合物组成的组中的至少一种热反应性化合物;(C)辐射敏感性化合物;和(D)溶剂:式(I)中,R1~R3各自独立地表示氢原子、羟基、具有1~2个碳原子的烷氧基或具有1~10个碳原子的烷基,R4~R5各自独立地表示氢原子、具有1~5个碳原子的烷基或具有卤素原子、羟基或含1~5个碳原子的烷基作为取代基的苯基,其中,在树脂中所有以式(I)表示的重复单元中,多个R1、多个R2、多个R3、多个R4和多个R5可各自相同或不同,条件是在所有所述重复单元中,至少部分R4和R5是甲基、苯基或羟基苯基。
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